【单选题】PECVD 工序的目的是为了在硅表面形成一层致密的薄膜,薄膜的组成部分主要是?
【多选题】下面关于集中CVD方法描述正确的是()。C. 做CVD淀积钨时,采用六氟化钨WF6作为气体源,六氟化钨能
与衬底窗口处的硅反应,而不与二氧化硅、氮化硅反应,
所以钨可以选择性地沉积在硅接触窗口中。
A.
等离子体增强化学气相淀积(PECVD)是目前最主要的化学气相淀积系统,低温淀积是其最主要优点。
B.
低压化学气相淀积系统(LPCVD)淀积的某些薄膜,在均匀性和台阶覆盖等方面比APCVD系统的要好,而且污染也少。
【单选题】在Word2010文档中,利用[ ]选项卡可以方便地添加页眉或页脚。
【单选题】《无公害农产品 种植业产地环境条件》中对( )作了规定。
【多选题】下列有关添加页眉和页脚的描述,正确的是:()
A.
执行过该命令的旧文档,可以重复使用“添加页眉和页脚”对话框来进行新页眉和页脚的添加
B.
不同于页面缩略图标签选项中的编排页码,“添加页眉和页脚”选项添加的页码,直接被添加到了文档的实际页面上
C.
通过对“页面范围”选项的指定,可以将不同的页眉或页脚添加到文档的奇偶页上
D.
在“页码和日期格式“选项中可以自定义所需的页码样式
【单选题】无公害农产品种植业产地环境条件中,灌溉水的指标包括 四类。
【多选题】《无公害农产品 种植业产地环境条件》中对( )作了规定。
【判断题】无公害农产品种植业产地环境条件中,粮食用地的灌溉水标准严于菜地。
【多选题】下面关于几种CVD方法的描述正确的是()。D. 做CVD淀积钨时,采用六氟化钨WF6作为气体源,六氟化钨能
与衬底窗口处的硅反应,而不与二氧化硅、氮化硅反应,
所以钨可以选择性地沉积在硅接触窗口中。
B.
等离子体增强化学气相淀积(PECVD)是目前最主要的化学气相淀积系统,低温淀积是其最主要优点。
C.
低压化学气相淀积系统(LPCVD)淀积的某些薄膜,在均匀性和台阶覆盖等方面比APCVD系统的要好,而且污染也少。
【多选题】下面关于几种CVD方法描述正确的是()。C. 做CVD淀积钨时,采用六氟化钨WF6作为气体源,六氟化钨能
与衬底窗口处的硅反应,而不与二氧化硅、氮化硅反应,
所以钨可以选择性地沉积在硅接触窗口中。
A.
等离子体增强化学气相淀积(PECVD)是目前最主要的化学气相淀积系统,低温淀积是其最主要优点。
B.
低压化学气相淀积系统(LPCVD)淀积的某些薄膜,在均匀性和台阶覆盖等方面比APCVD系统的要好,而且污染也少。